1、 美国联邦标准（USA Federal Standard）209E（1992年）

单位：尘埃数量个/ft3

 空气洁净度等级（N）

大于或等于所标粒径的粒子最大浓度限值（个/每立方米空气粒子）

0.1 um

0.2 um

0.3 um

0.5um

1um

5 um

ISO Class 1

10

2

ISO Class 2

100

24

10

4

ISO Class 3

1 000

237

102

35

8

ISO Class 4

10 000

2 370

1 020

352

83

ISO Class 5

100 000

23 700

10 200

3 520

832

29

ISO Class 6

1 000 000

237 000

102 000

35 200

8 320

293

ISO Class 7

352 000

83 200

2 930

ISO Class 8

3 520 000

832 000

29 300

ISO Class 9

35 200 000

8 320 000

293 000

注：由于涉及测量过程的不确定性，故要求用不超过三个有效的浓度数字来确定等级水平。

 粒径、数值洁净度级别

尘埃最大允许数/立方米

微生物最大允许数

≥0.5um

≥5um

浮游菌/立方米

沉降菌/皿

100 级

3,500

0

5

1

10,000 级

350,000

2,000

100

3

100,000 级

3,500,000

20,000

500

10

300,000 级

10,500,000

60,000

—

15

 空气洁净度等级（N）

大于或等于所标粒径的粒子最大浓度限值（个/每立方米空气粒子）

0.3um

0.5um

5um

10um

25 um

C

100

35

0

D

1000

350

0

E

10000

3500

0

F

3500

0

G

100000

35000

200

0

H

35000

200

0

J

350000

2000

450

0

K

3500000

20000

4500

500

L

200000

45000

5000

M

450000

50000

 美国联邦

美国联邦

英国标准

澳大利亚标准

法国标准

德国标准

国际标准

日本标准

标准 209D

标准 209E

BS5295

AS1386

AFNORX44101

VDI2083

14644-1

JACA24

1

1

—

0

2

2

1

M1.5

C

0.035

—

1

3

3

10

M2.5

D

0.35

—

2

4

4

100

M3.5

E

3.5

4000

3

5

5

1000

M4.5

G

35

—

4

6

6

10000

M5.5

J

350

400000

5

7

7

100000

M6.5

K

3500

4000000

6

8

8

M

7

9

—

美国联邦

美国联邦

英国标准

澳大利亚标准

法国标准

德国标准

国际标准

日本标准